"微細加工"の検索結果

  • 中性粒子ビームにより無欠陥エッジのグラフェンナノリボンを実現

    AIMRについて 概要 組織・運営 戦略 公募情報 アクセスマップ 研究 研究者・研究室一覧 研究分野 3つの... 、電子、中性粒子が存在する。特に半導体産業においては微細加工の手法としてプラズマを用いたエッチングが使われている...
  • 研究分野の枠を超えて

    AIMRについて 概要 組織・運営 戦略 公募情報 アクセスマップ 研究 研究者・研究室一覧 研究分野 3つの... 教授の研究生活は分析化学者として始まったが、現在は、微細加工、生体材料、化学、電子工学、神経科学、生理学と多分野... いくつかの研究機関を経た後、2006年に東北大学に移り、微細加工や医薬物質に関する研究を始めました。その研究が非常に... ンサーとして使用することはほぼ不可能でした。そこで、微細加工技術を用いて人工細胞膜の安定化を試みたところ、大変う...
  • 高性能・サブ10nm・3次元フィン型ゲルマニウムトランジスタを世界で初めて実現

    AIMRについて 概要 組織・運営 戦略 公募情報 アクセスマップ 研究 研究者・研究室一覧 研究分野 3つの... 絶縁性を劣化させることをいう。 (*7) プラズマプロセス 微細加工技術の一つで、プラズマにより励起された活性なイオンを...
  • 寒川誠二教授の研究グループ バイオテンプレート極限加工により損傷がなく10倍高密度の量子ドットを作製して発光に成功

    AIMRについて 概要 組織・運営 戦略 公募情報 アクセスマップ 研究 研究者・研究室一覧 研究分野 3つの... プダウンリソグラフィー技術とエッチング技術に依存した微細加工技術では大きな困難が予想されます。現状のリソグラフィ...
  • 遷移金属や磁性体の高精度な化学反応エッチング技術の開発に成功

    AIMRについて 概要 組織・運営 戦略 公募情報 アクセスマップ 研究 研究者・研究室一覧 研究分野 3つの... ム(マッチング促進)における研究課題「次世代超低損傷微細加工プロセス用大口径中性粒子ビーム源の開発」において実施... を提案し、遷移金属および磁性体の超低損傷・低温反応性微細加工プロセスの有効性を明らかに示すことに成功しました。 今... 、電子、中性粒子が存在する。特に半導体産業においては微細加工の手法としてプラズマを用いたエッチングが使われている...
  • 超低損傷3次元InGaN量子ナノディスク創成により発光効率100倍に

    AIMRについて 概要 組織・運営 戦略 公募情報 アクセスマップ 研究 研究者・研究室一覧 研究分野 3つの... グラフィ技術とプラズマエッチング 注6) 技術に依存した微細加工技術では大きな困難が予想されます。現状のリソグラフィ... 、電子、中性粒子が存在する。特に半導体産業においては微細加工の手法としてプラズマを用いたエッチングが使われている...
  • 寒川誠二教授の研究グループ 超低損傷中性粒子ビーム酸化プロセス技術による12ナノメートル世代以降の高品質Ge MOSトランジスタ構造を実現

    AIMRについて 概要 組織・運営 戦略 公募情報 アクセスマップ 研究 研究者・研究室一覧 研究分野 3つの... ジスタ構造を初めて実現。 技術世代12ナノメートル以降の微細加工技術も見通せる範囲に。 概要 東北大学流体科学研究所お... た技術は、寒川教授が発明し、ナノメートルオーダーの超微細加工技術において威力を発揮してきた中性粒子ビームプロセス... 中性粒子ビーム酸化装置 用語の説明 プラズマプロセス 微細加工技術の一つで、プラズマにより励起された活性なイオンを...
  • 高品質AlOx/GeOx/Geゲートスタック構造の実現

    AIMRについて 概要 組織・運営 戦略 公募情報 アクセスマップ 研究 研究者・研究室一覧 研究分野 3つの... 絶縁性を劣化させることをいう。 (*6)プラズマプロセス 微細加工技術の一つで、プラズマにより励起された活性なイオンを...
  • 3次元量子ドット構造の形成実現によるLED発光を初めて観察

    AIMRについて 概要 組織・運営 戦略 公募情報 アクセスマップ 研究 研究者・研究室一覧 研究分野 3つの... ダウン型のリソグラフィ技術とエッチング技術に依存した微細加工技術では大きな困難が予想されます。現状のリソグラフィ... 、電子、中性粒子が存在する。特に半導体産業においては微細加工の手法としてプラズマを用いたエッチングが使われている...
  • 3次元量子ドット構造の形成実現によるInGaAsナノ円盤構造を世界で初めて観察

    AIMRについて 概要 組織・運営 戦略 公募情報 アクセスマップ 研究 研究者・研究室一覧 研究分野 3つの... ダウン型のリソグラフィ技術とエッチング技術に依存した微細加工技術では大きな困難が予想されます。現状のリソグラフィ... 、電子、中性粒子が存在する。特に半導体産業においては微細加工の手法としてプラズマを用いたエッチングが使われている...