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  • 金属ガラス: 金属ガラスがMEMSにもたらす「革命」

    AIMRについて 概要 組織・運営 戦略 公募情報 アクセスマップ 研究 研究者・研究室一覧 研究分野 3つの... 金属ガラスがMEMSにもたらす「革命」 2016年02月29日 マイクロスキャナーの可動構造のシリコン部品を金属ガラスで置き換えること... MEMSデバイスが可能になった 動作中の金属ガラスベースマイクロスキャナー。シリコンの代わりに金属ガラス部品を用いることによっ... 、シリコンの代わりに強度に優れた金属ガラスを利用してマイクロスキャナーを作製した。このMEMSデバイスは、非常に高い回転性能を...
  • 2016年

    AIMRについて 概要 組織・運営 戦略 公募情報 アクセスマップ 研究 研究者・研究室一覧 研究分野 3つの... 「革命」 Published in Advanced Functional Materials マイクロスキャナーの可動構造のシリコン部品を金属ガラスで置き換えること...