寒川 誠二主任研究者 Ph.D.
研究テーマ
- 中性粒子ビームを用いた原子層エッチング、原子層表面改質、原子層堆積技術の研究開発
- ナノテクノロジーとバイオテクノロジーを融合した配置制御ナノ構造の作製と量子ナノデバイスへの展開
- 新材料（Ge, Ⅲ-Ⅴ族、GaN系材料、2D材料、金属酸化物）による最先端ナノデバイスの開発
主要業績
- Generating high-efficiency neutral beams by using negative ions in an inductively coupled plasma source, JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, Vol.20, No.5, (2002), 1566-1573, S. Samukawa, K. Sakamoto, K. Ichiki.
- Pulse-time modulated plasma discharge for highly selective, highly anisotropic and charge-free etching, PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, Vol.5, No.2, (1996), 132-138, S. Samukawa and T. Mieno
- Impact of silicon quantum dot super lattice and quantum well structure as intermediate layer on p-i-n silicon solar cells, Progress in Photovoltaics: Research and Applications, Vol.24, No.6, (2016), 774–780, M. M. Rahman, M-Y Lee, Y-C Tsai, A. Higo, H. Sekhar, M. Igarashi, M. E. Syazwan, Y. Hoshi, K. Sawano, N. Usami, Y. Li and S. Samukawa
- Amorphous carbon nitride thin films for electrochemical electrode: Effect of molecular structure and substrate materials, Carbon, Vol.93, November, (2015), 207-216, Y. Kikuchi, X. Chang, Y. Sakakibara, K. Y. Inoue, T. Matsue, T. Nozawa, and S. Samukawa
- Optical Study of Sub-10 nm In0.3Ga0.7N Quantum Nanodisks in GaN Nanopillars, ACS Photonics, Vol. 4, (2017) ,1851-1857, A. Higo, T. Kiba, S. Chen, Y. Chen, T. Tanikawa, C. Thomas, C. Y. Lee, Y-C Lai, T. Ozaki, J. Takayama, I. Yamashita, A. Murayama, and S. Samukawa
受賞歴
- 第40回市村学術賞（功績賞）(公益財団法人 新技術開発財団, 2008/04/25）
- 応用物理学会フェロー表彰（応用物理学会, 2008/09/02）
- 科学技術分野の文部科学大臣表彰・科学技術賞（研究部門）（文部科学省, 2009/04/14）
- American Vacuum Society Fellow表彰（American Vacuum Society (AVS), 2009/11/11）
- American Vacuum Society Plasma Prize（American Vacuum Society (AVS), 2010/10/19）
関連情報
- 2019年10月07日 プレスリリース 本学が共同研究により開発した技術で事業化を推進
- 2019年09月03日 お知らせ IEEE Open Journal of Nanotechnology（OJN）が論文募集を開始
- 2019年09月02日 プレスリリース ３次元量子ドット構造の形成実現によるInGaAsナノ円盤構造を世界で初めて観察
- 2019年07月03日 プレスリリース 窒化ガリウムマイクロLEDの発光効率を低電流密度で５倍に高効率化
- 2019年07月03日 メディア・受賞情報 寒川誠二教授がIEEE Open Journal of Nanotechnologyの共同編集長に就任しました
- 2019年02月20日 メディア・受賞情報 寒川教授、IEEEディスティングイッシュト・レクチャラー（2019年）に選出
- 2018年10月26日 プレスリリース 無欠陥・配置制御ナノピラー構造により表面濡れ性を自在に制御
- 2018年01月05日 メディア・受賞情報 大野教授、寒川教授、および田中教授に米国電気電子学会（IEEE）フェロー授与
- 2017年06月23日 プレスリリース 超低損傷３次元InGaN量子ナノディスク創成により発光効率100倍に
- 2016年12月06日 プレスリリース 高性能・サブ10nm・３次元フィン型ゲルマニウムトランジスタを世界で初めて実現
- 2016年10月07日 メディア・受賞情報 寒川教授、IEEE Nano 2016最優秀論文賞受賞
- 2015年09月28日 プレスリリース 高品質AlOx/GeOx/Geゲートスタック構造の実現
- 2014年09月04日 プレスリリース ３次元量子ドット構造の形成実現によるLED発光を初めて観察
- 2014年06月09日 プレスリリース 遷移金属や磁性体の高精度な化学反応エッチング技術の開発に成功
- 2013年09月24日 プレスリリース 中性粒子ビームにより無欠陥エッジのグラフェンナノリボンを実現
- 2012年09月19日 プレスリリース 寒川誠二教授の研究グループ 超低損傷中性粒子ビーム酸化プロセス技術による12ナノメートル世代以降の高品質Ge MOSトランジスタ構造を実現
- 2012年08月27日 プレスリリース 寒川誠二教授の研究グループ バイオテンプレート極限加工により損傷がなく10倍高密度の量子ドットを作製して発光に成功
- 2012年06月08日 プレスリリース 寒川誠二教授の研究グループ 高密度・均一量子ナノ円盤アレイ構造による高効率・量子ドット太陽電池の実現