寒川 誠二主任研究者 Ph.D.
研究テーマ
- 中性粒子ビームを用いた原子層エッチング、原子層表面改質、原子層堆積技術の研究開発
- ナノテクノロジーとバイオテクノロジーを融合した配置制御ナノ構造の作製と量子ナノデバイスへの展開
- 新材料（Ge, Ⅲ-Ⅴ族、GaN系材料、2D材料、金属酸化物）による最先端ナノデバイスの開発
主要業績
- Generating high-efficiency neutral beams by using negative ions in an inductively coupled plasma source, JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, Vol.20, No.5, (2002), 1566-1573, S. Samukawa, K. Sakamoto, K. Ichiki.
- Pulse-time modulated plasma discharge for highly selective, highly anisotropic and charge-free etching, PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, Vol.5, No.2, (1996), 132-138, S. Samukawa and T. Mieno
- Impact of silicon quantum dot super lattice and quantum well structure as intermediate layer on p-i-n silicon solar cells, Progress in Photovoltaics: Research and Applications, Vol.24, No.6, (2016), 774–780, M. M. Rahman, M-Y Lee, Y-C Tsai, A. Higo, H. Sekhar, M. Igarashi, M. E. Syazwan, Y. Hoshi, K. Sawano, N. Usami, Y. Li and S. Samukawa
- Amorphous carbon nitride thin films for electrochemical electrode: Effect of molecular structure and substrate materials, Carbon, Vol.93, November, (2015), 207-216, Y. Kikuchi, X. Chang, Y. Sakakibara, K. Y. Inoue, T. Matsue, T. Nozawa, and S. Samukawa
- Optical Study of Sub-10 nm In0.3Ga0.7N Quantum Nanodisks in GaN Nanopillars, ACS Photonics, Vol. 4, (2017) ,1851-1857, A. Higo, T. Kiba, S. Chen, Y. Chen, T. Tanikawa, C. Thomas, C. Y. Lee, Y-C Lai, T. Ozaki, J. Takayama, I. Yamashita, A. Murayama, and S. Samukawa
受賞歴
- 第40回市村学術賞（功績賞）(公益財団法人 新技術開発財団, 2008/04/25)
- 応用物理学会フェロー表彰 (応用物理学会, 2008/09/02)
- 科学技術分野の文部科学大臣表彰・科学技術賞（研究部門）(文部科学省, 2009/04/14)
- American Vacuum Society Fellow表彰 (American Vacuum Society (AVS), 2009/11/11)
- American Vacuum Society Plasma Prize (American Vacuum Society (AVS), 2010/10/19)
