寒川 誠二主任研究者 Ph.D.

職名 教授
グループ デバイス・システムグループ
研究室 寒川 誠二研究室
所在地 片平キャンパス 流体科学研究所
(〒980-8577 仙台市青葉区片平2-1-1)
電話 022-217-5240
E-Mail samukawa@ifs.tohoku.ac.jp
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研究テーマ

  • 中性粒子ビームを用いた原子層エッチング、原子層表面改質、原子層堆積技術の研究開発
  • ナノテクノロジーとバイオテクノロジーを融合した配置制御ナノ構造の作製と量子ナノデバイスへの展開
  • 新材料(Ge, Ⅲ-Ⅴ族、GaN系材料、2D材料、金属酸化物)による最先端ナノデバイスの開発

主要業績

  • Generating high-efficiency neutral beams by using negative ions in an inductively coupled plasma source, JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, Vol.20, No.5, (2002), 1566-1573, S. Samukawa, K. Sakamoto, K. Ichiki.
  • Pulse-time modulated plasma discharge for highly selective, highly anisotropic and charge-free etching, PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, Vol.5, No.2, (1996), 132-138, S. Samukawa and T. Mieno
  • Impact of silicon quantum dot super lattice and quantum well structure as intermediate layer on p-i-n silicon solar cells, Progress in Photovoltaics: Research and Applications, Vol.24, No.6, (2016), 774–780, M. M. Rahman, M-Y Lee, Y-C Tsai, A. Higo, H. Sekhar, M. Igarashi, M. E. Syazwan, Y. Hoshi, K. Sawano, N. Usami, Y. Li and S. Samukawa
  • Amorphous carbon nitride thin films for electrochemical electrode: Effect of molecular structure and substrate materials, Carbon, Vol.93, November, (2015), 207-216, Y. Kikuchi, X. Chang, Y. Sakakibara, K. Y. Inoue, T. Matsue, T. Nozawa, and S. Samukawa
  • Optical Study of Sub-10 nm In0.3Ga0.7N Quantum Nanodisks in GaN Nanopillars, ACS Photonics, Vol. 4, (2017) ,1851-1857, A. Higo, T. Kiba, S. Chen, Y. Chen, T. Tanikawa, C. Thomas, C. Y. Lee, Y-C Lai, T. Ozaki, J. Takayama, I. Yamashita, A. Murayama, and S. Samukawa

受賞歴

  • 第40回市村学術賞(功績賞)(公益財団法人 新技術開発財団, 2008/04/25)
  • 応用物理学会フェロー表彰 (応用物理学会, 2008/09/02)
  • 科学技術分野の文部科学大臣表彰・科学技術賞(研究部門)(文部科学省, 2009/04/14)
  • American Vacuum Society Fellow表彰 (American Vacuum Society (AVS), 2009/11/11)
  • American Vacuum Society Plasma Prize (American Vacuum Society (AVS), 2010/10/19)