江刺 正喜主任研究者 Ph.D.

職名 AIMR主任研究者
マイクロシステム融合研究開発センター長 (μSIC)
グループ デバイスシステムグループ
研究室 江刺 正喜研究室
所在地 〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
(西澤潤一記念研究センター)
電話 022-305-2351
Fax 022-305-2352
E-Mail esashi@mems.mech.tohoku.ac.jp
関連サイト

研究テーマ

  • MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)用材料
  • ウェハレベルの異種要素集積化

主要業績

  • Electrostatically Levitated Ring-Shaped Rotational-Gyro /Accelerometer, Jpn. J. Appli. Phys., 42, Part1 No.4B (2003) pp.2468-2472, T.Murakoshi, Y.Endo, K.Sigeru, S.Nakamura and M.Esashi
  • Wafer Level Packaging of MEMS, J. of Micromechanics and Microengineering, 18 (2008) 073001(13pp), M.Esashi
  • Micromirror with Large-tilting Angle Using Fe-based Metallic Glass, Optics Letters, 36, 17 (2011) 3464-3466, J.-W.Lee, Y.-C.Lin, N.Kaushik, P.Sharma, A.Makino, A.Inoue, M.Esashi and T.Gessner
  • Active-matrix Nanocrystalline Si Electron Emitter Array for Massively Parallel Direct-write Electron-beam System: First Results of the Performance Evaluation, J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS 11, 031406 (2012), DOI:10.1117/1.JMM.11.3.031406, N.Ikegami, T.Yoshida, A.Kojima, H.Ohyi, N.Koshida and M.Esashi
  • Lithium-Niobate-Based Surface Acoustic Wave Oscillator Directly Integrated with CMOS Sustaining Amplifier, IEEE Trans. on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, 59, 8 (2012) 1800-1805, S.Tanaka, K.D.Park and M.Esashi

受賞歴

  • 電子通信学会業績賞 (1990)
  • 日本IBM科学賞 (1993)
  • SSDM Award (2001)
  • 第27回応用物理学会論文賞JJAP論文賞 (2005)
  • 紫綬褒章 (2006)