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寒川教授、IEEE Nano 2016最優秀論文賞受賞

AIMR主任研究者の寒川 誠二教授が、IEEE 16th International Conference on Nanotechnology (IEEE Nano 2016)で最優秀論文賞を受賞しました。

この賞は、IEEE 16th International Conference on Nanotechnology（2016年8月22日～25日に仙台にて開催）に応募された論文の中で特に優秀なものを選び、贈呈されるものです。
今回の受賞論文は、「Defect-Free Germanium Etching for 3D Fin MOSFET Using Neutral Beam Etching」です。

関連情報

• IEEE 16th International Conference on Nanotechnology
• 寒川教授プロフィール

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